| 高真空/高低溫探針臺T-CV4 |
| 用于1~6寸晶圓，批次小器件，單個芯片或MEMS等器件電學性能測試； |
| 應用場景：I/V曲線測試，C/V測試，射頻S參數(shù)測試等； |
| 樣品臺尺寸：1英寸、2英寸、4英寸， 6英寸(可選)； |
| 控溫范圍：-196℃/-100℃/-60℃至150℃/200℃/300℃(可選)； |
| 真空度：10-1Torr/10-5Torr/10-6Torr（可選）； |
| 支持制冷機、液氮制冷，可互換； |
| 儀器搭配：數(shù)字源表、半導體參數(shù)分析儀、LCR數(shù)字電橋、網(wǎng)絡分析儀等。 |
